上海微电子18年就造出DUV了，为何不给华为生产芯片？

发布时间：2023-03-20 14:21:52 所属栏目：动态来源：

导读：上海微电子18年就造出了干式DUV光刻机（下简称ArF），而支持第二代28纳米及以下成品工艺的高性能浸没式光刻胶的DUV光刻机（下简称ArFi），至今尚无验证机，ArFi难在哪呢？

一、先讲一个“65纳米魔咒”的

上海微电子18年就造出了干式DUV光刻机（下简称ArF），而支持第二代28纳米及以下成品工艺的高性能浸没式光刻胶的DUV光刻机（下简称ArFi），至今尚无验证机，ArFi难在哪呢？

一、先讲一个“65纳米魔咒”的故事：在2003年以前，全球芯片制造业卡在65纳米工艺迟迟无法突破，直到台积电一名叫林本坚的工程师提出了“浸没式”的方案，并联合荷兰ASML共同研发，于2007年交付全球第一台型号为NXT:1700Fi的ArFi，一举突破了65纳米工艺。

二、ArF和ArFi最大的区别是，在大部分投影透镜和显示面板晶圆之间往往有一层看上去很薄的聚合物超净水。

三、尚微ArFi核心配件进展：

①光源系统已实现6KHz重频下60W的激光输出功率，在徐州投资5亿的生产线，建成后年产RS222型准分子激光器30套；

②光学系统生产线有望2023年建成，投资60亿，届时将拥有28纳米及以下节点及大规模IC制造投影光刻机曝光光学系统产品的生产能力；

③浸液系统已进入产品制造阶段；

④浸没式双工件台正在研发当中。

国人都期盼麒麟回归，那必定是28纳米及以下工艺的芯片，我希望我自己研发出来的 ARFi能够早日建成。

如果前道光刻机突破，能够形成量产，那会对我们的产业升级形成极大的助力。通讯业是新经济的基础产业。

（编辑：汽车网）

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